作者：孙凤鸣,傅星,朱振宇,高赛,张超 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2013年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2013020290 DOC编号：DOCCGJS2013020299 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种接触式焊缝自动跟踪传感器的设计》PDF+DOC2016年第01期 崔谦 《温度补偿型光纤光栅位移传感器》PDF+DOC2016年第03期 田晓丹,张会新,刘文怡,范军刚 《PD－I型牙周袋测量仪的研制》PDF+DOC1995年第02期 刘振宅,徐瑞,金天弘,刘喆,张兆祥,徐宝珍 《PD-Ⅱ型牙周袋测量仪的研制》PDF+DOC1995年第02期 刘振宅,徐瑞,金天弘,刘喆,赵渭,张兆祥,徐宝珍 《三坐标测量机用传感器的现状和问题》PDF+DOC1986年第01期 齐藤滕政,曹琰 《YJ—1型位移测定仪》PDF+DOC1975年第07期 郭康安 《非等齿耦合位移传感器的研究》PDF+DOC2012年第02期 朱革,郭增强,王先全,罗静,袁亚辉 《高精度电容式位移传感器关键技术的研究》PDF+DOC2007年第07期 师树恒,王斌,朱健强 《增量式时栅位移传感器原理及试验研究》PDF+DOC2006年第11期 王彦刚,彭东林,易文翠 《大位移磁致伸缩传感器的弹性波建模与分析》PDF+DOC2013年第02期 代前国,周新志

    • 对一种基于MEMS技术的探针进行开发，以实现微纳米尺度下的几何量测量。该探针是静电梳齿型结构，含有定齿和连接有主梁的动齿。主梁顶端的探针能够感知样品表面形貌而引起梳齿间位移，梳齿间位移能够带来梳齿间电容的变化。设计了测头的电容信号检测电路。搭建测试系统，利用该系统进行进针实验，标定测头的灵敏度为0.43 mV/nm，实验表明测头的非线性误差小于0.22%。利用该测头作为SPM测头，搭建小型SPM系统，对108 nm台阶高度的光栅结构进行了扫描。

    📙 相关资料

    1. 《一种接触式焊缝自动跟踪传感器的设计》PDF+DOC 传感器是焊缝自动跟踪系统的关键部分，本文设计了一种结构简单、工作可靠、抗干扰性强的接触式焊接跟踪传感器，采用双接触式的探针采集焊缝位置偏移信息，当发生偏离时，其可将偏差量转化成可检测的模拟电压量，以便及时纠正，保证焊接质量，最后通过验证得出该传感器具有很好的实用性。...
    2. 《温度补偿型光纤光栅位移传感器》PDF+DOC 基于等腰三角形悬臂梁和双光纤光栅结构设计并制造了一种高分辨率、温度自补偿的光纤位移传感器。采用光谱分析法对测量结果进行解调，常温下的实验结果表明，传感器的量程为0~70 mm，灵敏度为21.9 pm/mm，线性拟合度高达0.999，重复性误差为4.72%FS，迟滞误差为2.70%FS。而且在0~60......
    3. 《PD－I型牙周袋测量仪的研制》PDF+DOC ＰＤ－Ｉ型牙周袋测量仪是采用传感式牙周探针对牙周袋深度进行测量的一种电子仪器。本文介绍了该仪器的测量原理及方法、软硬件结构、主要特点及临床应用。...
    4. 《PD-Ⅱ型牙周袋测量仪的研制》PDF+DOC ＰＤ—Ⅱ型牙周袋测量仪是采用传感式牙周探针对牙周袋深度进行测量的一种智能化电子仪器。由微型计算机控制。本文介绍了该仪器的工作原理、测量方法、软硬件结构。主要特点及临床应用。...
    5. 《三坐标测量机用传感器的现状和问题》PDF+DOC 近年来，以金属型模腔为代表的形状复杂并且尺寸精度要求高的工件逐渐多了起来。为了实现高效率、高精度测量，不仅三坐标测量机的性能是重要的，传感器的性能也是重要的。过去，已有许多三坐标测量传感器研制出来，大致上可分为定位传感器和位移传感器。这些不仅用在三坐标测量机的测量头上，而且...
    6. 《YJ—1型位移测定仪》PDF+DOC 在毛主席“开发矿业”的伟大号召下，我国的矿山建设得到了迅速的发展。目前，在矿山井巷支护方面，已由落后的木支护，逐渐发展到喷射混凝土锚杆支护的新工艺，对多快好省地建设矿山起了重大作用。由于这一新技术的出现和它在工程领域...
    7. 《非等齿耦合位移传感器的研究》PDF+DOC 为了提高位移传感器的测量精度，在最大开槽数一定时获得更多的极对数。对原有时栅位移传感器进行改进，提出了一种新的位移传感器结构，介绍了传感器的工作原理和结构。该传感器在最大开槽数一定的情况下，可以得到较多的极对数和测头数，从而利于提高测量精度。通过实验得出以高精度光栅为基准时传感器的角位移测量误差为&......
    8. 《高精度电容式位移传感器关键技术的研究》PDF+DOC 研制了一种高精度电容式位移传感器，详细介绍了该传感器的基本工作原理和提高传感器精度的关键技术，对电容传感器的具体电路进行模块化设计；分析影响传感器精度与稳定性的因素，采用完全等电位屏蔽技术，对正弦激励电路、参考电容、传感器测头、电源进行技术改进，最后对电容传感器进行系统标定。实验证明：该传感器测量范......
    9. 《增量式时栅位移传感器原理及试验研究》PDF+DOC 介绍了一种新型的增量式时栅位移传感器原理。通过设计传感器信号处理电路实现了其从原理到试验的转变，并且在增量式时栅位移传感器原理试验台上进行了测量试验。在分析测量数据的基础上验证了增量式时栅位移传感器原理的可行性。...
    10. 《大位移磁致伸缩传感器的弹性波建模与分析》PDF+DOC 磁致伸缩位移传感器是一种测量精度高，测量位移大的新型位移传感器.传感器设计涉及多学科交叉，难以建立统一数学模型.以FeGa材料作为磁致伸缩位移传感器的核心波导丝，建立了波导丝材料磁致伸缩弹性波振动模型，波导丝磁机耦合模型和信号检测模型；同时分析了弹性波信号的受限因素，信号衰减特性.在数学模型基础上，......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。