《采用飞秒激光加工的一种F-P应变传感器设计》PDF+DOC
作者:陈鹏,戴玉堂,代圣力,黄新
单位:上海市激光研究所
出版:《应用激光》2017年第04期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYYJG2017040170
DOC编号:DOCYYJG2017040179
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研究出飞秒激光加工法布里-珀罗(F-P)腔的方法,并且将F-P腔和单模光纤焊接起来形成微型非本征光纤F-P干涉(EFPI)应变传感器。实验分析了激光能量与腐蚀对F-P腔深度的关系,设计传感器的加工步骤,对光纤法布里-珀罗传感器的应变特点进行讨论。实验显示,这种构造的干涉传感器加工流程不复杂,对于微小形变具备较好的灵敏度与可重复性,其应变灵敏度为0.00466nm/uε。所以,这种新型的EFPI应变传感器具有良好的稳定性和可重复性,在改变生产工艺和在复杂工况环境中的使用具有较好的工程应用前景。
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