作者：揣荣岩,白羽,吴美乐,代全,靳晓诗 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013010020 DOC编号：DOCYBJS2013010029 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 随着微机电系统(MEMS)技术的迅速发展，硅基加速度传感器已经得到广泛应用。但在敏感结构设计中，普遍存在灵敏度与固有谐振频率相互制约的矛盾。为此，采用多晶硅纳米膜作应变电阻，设计了300 nm超薄微梁加速度敏感结构。这种结构的设计改善了灵敏度与谐振频率之间的矛盾，使两者乘积值提高了30余倍，从而使压阻加速度计的性能得到大幅提升。

    📙 相关资料

    1. 《压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构》PDF+DOC 基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用，但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此，文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构，该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁，在保证高灵敏度的同时，显著提高了固有频率。其......
    2. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 本文介绍了一种高灵敏度硅压式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    3. 《一种高灵敏度硅压阻式加速度传感器的研究》PDF+DOC 介绍一种高灵敏度硅压阻式加速度计的工作原理、结构、工艺技术及测定方法 ；通过分析和实践 ，得到了能提高加速度传感器输出性能的有价值的结论。...
    4. 《一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工》PDF+DOC 提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构，运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算，并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析，首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管和悬臂梁-质量块结构进行了加工，并对加工出来的加速......
    5. 《孔缝双桥结构高性能压阻式加速度传感器》PDF+DOC 针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求，基于微机电系统和应力集中技术，提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏度、高固有频率的压阻式微型加速度传感器。结合理论分析与数值计算方法，分析该结构的特性，通过研究孔缝尺寸对传感器性能的影响确定传感器敏感结构尺寸。传感器芯片采用微细加工工艺制作，并......
    6. 《人体活动量的测量》PDF+DOC 论述了运动量测量的意义和用途，分别介绍了各种测量方法和压阻式加速度计的优缺点，说明在便携式运动量测量仪中采用压阻式加速度计最理想。引用了两个具有代表性的实验，提出了设计便携式仪器的方法...
    7. 《一种高量程压阻式加速度计的静态测试方法》PDF+DOC 介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性。设计了一种新结构，上面带有压敏电阻，用该方法测量到的静态特性和理论结果比较，两者基本一致，芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度)内呈直线，非线性为1%左右，灵敏度与理论值在20%的偏差内一致。由于其操作简单......
    8. 《基于MEMS加速度计和陀螺仪的姿态检测系统》PDF+DOC 本文根据微机电系统(MEMS)加速度传感器的工作原理和特点，对姿态检测系统的原理、组成以及数据采集进行了研究。提出了一种基于MEMS三轴加速度传感器和陀螺仪的倾角检测系统的实现方法。采用加速度计和陀螺仪的数据融合，有效地提高姿态检测系统的检测精度。...
    9. 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC 针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器结构双端固支梁-质量块结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高了测量精度。仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41μV/gn，可实现对150 000 gn的加速度载荷的......
    10. 《高g值加速度计动态校准的实现方法》PDF+DOC 针对高g值加速度计动态校准要求激励信号的频率大于加速度计谐振频率的需要，采用小型Hopkinson杆和激光干涉仪构成动态校准系统，对某型高g值加速度传感器进行了校准实验。结果表明：该系统能产生脉宽10滋s以下的窄脉冲加速度激励信号，对一阶谐振频率大于100 k Hz的高g值加速度计可以实现动态校准。...

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。