作者：李小金,蔡宇宏,何丹,李正清 单位：冶金自动化研究院 出版：《工业计量》2017年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGYJL2017040100 DOC编号：DOCGYJL2017040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 市场上主流的MEMS流量传感器在其量程的小段范围内综合精度最高可达到0.5%F.S，大范围的测量误差2.5%F.S左右，甚至9%F.S以上。如果直接采用该传感器对流量进行控制，不仅造成较大的测试误差，而且占据较大的空间。文章采用某型号流量传感器作为测量元件，利用传感器最高精度的测试范围，实现了小量程传感器对大流量的高精确控制。对MEMS流量控制器的方案进行了详细介绍，以10 scm/min为例，对其进行了设计计算。结果表明，该方法满足设计要求，达到了设计目的，为气体流量的精确控制提供了一条简单可行的途径。

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