作者：王二伟,鱼卫星,王成,卢振武 单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 出版：《中国光学》2013年第02期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZGGA2013020190 DOC编号：DOCZGGA2013020199 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 结合物理光学原理和表面等离子体共振(SPR)角度传感器，提出了可以突破衍射极限的纳米间距检测方法。在理论上建立起纳米间距和位相改变量之间的函数关系，借助于SPR角度传感器的高灵敏性，提出通过检测出射光束振动方向的p分量和s分量的位相差值来实现纳米间距的实时检测。模拟结果显示：纳米间距改变量从-0.5～0.5μm变化时，位相改变量可实现-150&#176；～150&#176；的变化，检测灵敏度&gt；1 nm。该检测方法能够实现10 nm以下间距的灵敏检测，且具有结构简单，易于操作，实时检测的特点。

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