作者：孙海浪,田于逵,金磊,张璇,谢华 单位：中国空气动力学会 出版：《实验流体力学》2017年第02期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFLTLC2017020060 DOC编号：DOCLTLC2017020069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • MEMS热膜式壁面剪应力传感器的输出信号是带有基础电压的微弱电压信号，无法通过放大器直接放大的方法实现高精度测量。文章提出在输出信号放大前增加信号平衡环节，在保留有效信号的前提下减小基础电压，再通过放大的方法实现其高精度测量，有效解决了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的难题。文章介绍了MEMS热膜式壁面剪应力传感器微弱信号检测的技术方案、关键技术、测试检验及试验应用实例。

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