作者:刘欣,胡礼中,张贺秋,邱宇,赵宇,骆英民 单位:中材人工晶体研究院 出版:《人工晶体学报》2013年第09期 页数:4页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFRGJT2013090060 DOC编号:DOCRGJT2013090069 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 利用化学气相沉积(CVD)方法生长出一种新颖的氧化锌(ZnO)微米刺球状结构,并使用该结构制备出一种新型压电应力传感器件。使用半导体特性分析系统(Keithley 4200)对器件特性进行测试,结果表明该种器件对所施加的应力高度敏感,开关比高达约60,比目前多数ZnO基压电应力传感器件高出数倍,在应力检测和机电开关等领域有很好的应用前景。

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