《悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的研究》PDF+DOC
作者:苏莹,闫树斌,张志东,汤跃,王瑞兵,陈慧斌
单位:沈阳仪表科学研究院有限公司
出版:《仪表技术与传感器》2017年第03期
页数:5页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFYBJS2017030030
DOC编号:DOCYBJS2017030039
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针对传统微压传感器灵敏度低、体积大的问题,提出了一种新型悬臂梁式环形谐振腔微压传感器。首先理论分析了悬臂梁式环形谐振腔微压传感器的工作原理,然后对悬臂梁结构进行了建模仿真,同时也确定了悬臂梁和环形谐振腔的最佳结构参数,最后利用MEMS工艺在SOI材料上制备了该新型传感器。利用光学耦合测试平台,对所加工的环形谐振腔进行性能测试,实验测得环形谐振腔的Q值为7.75×;10~4,传感器的灵敏度为31 pm/k Pa,可以满足微压传感器高灵敏度的要求。
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