作者:刘西锋,董汉鹏,夏善红 单位:中国科学院上海有机化学研究所;中国化学会 出版:《》 页数:6页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFHXXB2013040280 DOC编号:DOCHXXB2013040289 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
  • 研制了一种基于多孔纳米氧化锡(SnO2)催化剂的微催化燃烧式气体传感芯片(Pellistor).基于微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS)工艺制备硅基封闭膜式微催化燃烧式传感器,通过气相沉积技术在Pt微加热电极和高温绝缘层表面制备三维纳米氧化锡催化膜,利用催化膜对氢气良好的催化特性,采用惠斯通电桥电路进行测量,实现对空气环境中氢气在0~4%浓度范围内的快速检测,响应时间和恢复时间分别达到0.65 s和2.32 s,灵敏度达75.4mV/1%H2,线性度为99.4%.考察200天内该传感芯片对氢气的检测能力,传感芯片表现出良好的稳定性,精确度保持在95%以上.在绝缘层高温性能稳定的条件下,将三维纳米氧化锡应用于微催化燃烧式传感器的氢气检测,对催化燃烧式传感器性能的改进具有重要的意义。

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