作者：许高斌,陈兴,马渊明,卢翌,汪祖民 单位：中国真空学会 出版：《真空科学与技术学报》2013年第07期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZKKX2013070110 DOC编号：DOCZKKX2013070119 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究》PDF+DOC2015年第04期 李建义,朱杰,王静 《一种高量程压阻式加速度计的静态测试方法》PDF+DOC2002年第03期 黄全平,陆德仁 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC2011年第08期 赵锐,石云波,唐军,刘俊 《SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析》PDF+DOC2010年第06期 许高斌,汪祖民,陈兴 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC2006年第05期 孙剑,赵玉龙,苑国英,蒋庄德,徐敬波 《单加速度计高旋弹滚转角测量系统误差模型》PDF+DOC2016年第01期 史凯,徐国泰,钱荣朝,王佳伟 《单片集成的压阻式加速度计设计及加工》PDF+DOC2018年第02期 何昱蓉,何常德,张文栋,宋金龙 《基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究》PDF+DOC2006年第05期 赵玉龙,赵立波,蒋庄德 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC2008年第06期 景鹏,马铁华,王燕 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC2008年第06期 鲍爱达,徐晓辉,张英祥,范波,郭涛

    • 基于SOI技术，利用电感耦合等离子体硅深加工，设计制备了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元，采用扇形敏感质量块平板内振动结构。对称的布局方式，有效地消除了灵敏度的交叉干扰，提高了传感器的测量精度。测试系统分析出加速度传感器的灵敏度是1.170μV/g。研究表明该加速度传感器可实现对量程高达25&#215；104g加速度的测量。

    📙 相关资料

    1. 《高量程压阻式加速度计在高温环境下的失效研究》PDF+DOC 针对高量程压阻式加速度传感器在高温环境下的失效问题，分析了高温对高量程加速度计的影响，得出的失效模式为：高温导致固支梁的翘曲或变形；温度变化引起压敏电阻的变化进而导致传感器输出漂移甚至输出失效；测量电路板在高温下变得扭曲或者导电层的分离。然后，利用ANSYS对固支梁和电路板进行仿真，得出各模块在20......
    2. 《一种高量程压阻式加速度计的静态测试方法》PDF+DOC 介绍了一种简单而有效的天平方法来检测高量程微机械加速度传感器芯片的静态特性。设计了一种新结构，上面带有压敏电阻，用该方法测量到的静态特性和理论结果比较，两者基本一致，芯片的静态输出特性在测量限20000g(g为重力加速度)内呈直线，非线性为1%左右，灵敏度与理论值在20%的偏差内一致。由于其操作简单......
    3. 《MEMS面内大量程加速度传感器设计与分析》PDF+DOC 针对目前导弹引信等武器系统领域对大量程加速度传感器的迫切需求，设计了一种测量平面内加速度的大量程压阻式加速度传感器。该传感器结构双端固支梁-质量块结构，可有效消除敏感轴轴间的交叉干扰，提高了测量精度。仿真分析表明传感器在敏感轴轴向灵敏度为1.41μV/gn，可实现对150 000 gn的加速度载荷的......
    4. 《SOI特种高g值MEMS加速度计设计与分析》PDF+DOC 基于SOI技术，利用ICP体硅深加工，设计分析了一种新型平面内振动高g值压阻式加速度计。该加速度计包括X轴向与Y轴向单元，采用三梁-扇形质量块平板内振动结构。对称的布局方式，有效的消除了灵敏度的交叉干扰，提高了传感器的测量精度。论文建立了理论模型，并利用ANSYS软件对传感器进行模拟分析与验证，理论......
    5. 《一种压阻式三轴加速度传感器的设计》PDF+DOC 介绍了一种基于SOI的硅压阻式三轴加速度传感器的设计和制备.该三轴加速度传感器采用四个相互垂直的悬臂梁支撑中间质量块的结构.加速度传感器通过利用合理布置的压敏电阻构成的惠斯通电桥测量三个方向的加速度.对加速度传感器结构进行了理论分析和有限元仿真优化，确定加速度传感器的结构尺寸，并详细论述了三轴加速度......
    6. 《单加速度计高旋弹滚转角测量系统误差模型》PDF+DOC 针对单加速度计高旋弹滚转角测量系统精度评估方法缺乏的问题，提出了单加速度计高旋弹滚转角测量系统误差模型。该模型中包含加速度计安装位置、安装角度、横轴灵敏度误差。分别用单因素敏感因子合成法和蒙特-卡洛模拟仿真法对单加速度计高旋弹滚转角测量精度的评估结果分别为3.577 2&#176；和3.86......
    7. 《单片集成的压阻式加速度计设计及加工》PDF+DOC 针对现实环境下加速度方向多维测试的需求，提出了一种“四边八梁”的MEMS低加速度g(g=9.8m/s2)值压阻式三轴加速度传感器。根据其工作原理进行结构设计，并通过ANSYS与Matlab软件分析、优化结构参数。设计工艺流程并进行离子注入、ICP干法刻蚀及深硅刻蚀等关键工艺加工，最终实现传感器器件加......
    8. 《基于SOI技术梁膜结合高过载压阻式加速度计研究》PDF+DOC 采用微型机械电子系统技术和集成电路工艺制作出了SOI技术高灵敏度的硅微固态压阻平膜芯片；通过动力学分析和有限元模拟，研制出了具有高过载保护功能的加速度传感器结构；通过玻璃粉烧结工艺将其键合在弹性梁的应力集中处，研制出量程为&#177；2000g、过载能力为30倍满量程的高过载梁膜结合压阻式加......
    9. 《一种压阻式三轴高g值加速度传感器的冲击校准》PDF+DOC 介绍了基于Hopkinson杆技术的激光光栅干涉法这种冲击加速度计的绝对校准方法，给出了加速度传感器灵敏度系数的两种标定公式。使用Hopkinson杆在约12000gn的加速度水平下应用上述校准方法对一种三轴压阻式高冲击微型加速度传感器的灵敏度进行了冲击校准。通过对校准结果的分析比较了两种灵敏度标定......
    10. 《微加速度计固有频率的推导及验证》PDF+DOC 为了解决压阻式加速度计的动态特性欠佳的共性，避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏，在结构设计过程中选择合理固有频率是至关重要的。本文就针对一种四边八梁结构的高gn值压阻式加速度计，通过力学知识，简化结构并推导出其固有频率的理论计算公式，并利用有限元仿真软件和测试高gn值加速度计频率特性的方......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。