《一种MEMS压力传感器的标定和温度补偿方法》PDF+DOC
作者:沈晓春,刘利,周飞
单位:河北省科技咨询服务中心
出版:《》
页数:2页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFKJFT2013120270
DOC编号:DOCKJFT2013120279
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本文介绍了一种MEMS芯片的压力传感器的标定和补偿方法,分析了传感器的结构原理和常见补偿方式,详述了采用的标定和补偿方法,并通过实验进行了验证,证明该方法是一种简便有效的方法,能够被广泛使用。
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