《耐高温小型压差传感器的研制》PDF+DOC

📙 相关资料

1. 《小型共面接口压差传感器》PDF+DOC 小型共面接口压差传感器是一种压力传感器，该传感器主要用于测量和控制两个油路压力差。该产品采用SOI硅晶圆材料制作硅压阻式压力敏感芯片，敏感元件的工作温度范围为-55~300℃，通过双芯体结构将油路的压力差信号转换成电信号，再利用精密的信号处理电路，将微弱的电信号进行放大处理，实现标准的模拟信号输出。...
2. 《扩散硅多功能集成差压传感器》PDF+DOC 传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题，解决了以前静压无法补偿，仅靠工艺解决的难题；改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度，达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量，实现了传感器的智能化，这也是国际传感技术发展的方向。所研制的小型多功能压力传感器......
3. 《基于单晶硅的压阻效应的超小型压力传感器》PDF+DOC 利用单晶硅的压阻效应原理，采用先进的半导体平面工艺、微机械加工工艺、温度补偿及固态集成工艺研制了一种超小型压力传感器。该传感器采用敏感元件与信号处理电路一体化结构，产品在制作过程中经过严格的工艺检验和环境性能试验。证明具有体积小、精度高、稳定性好、测量范围宽等特点，可以广泛用于石油、冶金、化工、航空......
4. 《高超声速风洞模型底部压力测量方法研究》PDF+DOC 模型底部压力测量是高超声速风洞高超声速风洞气动力试验的重要组成部分，它的精确度直接影响到模型气动特性的精确测量。考虑到高超声速流场条件下，模型底部压力低，测量难度大的问题，我们找到了一种行之有效的解决方法，即采用振动筒式压力传感器测量参考压力与压差传感器测量压差相结合的方法来测量模型底部压力。实际应......
5. 《高温压力传感器的新进展——金刚石微压力传感器》PDF+DOC 工业上的某些场合要求压力传感器能够在高温、高辐射以及恶劣的环境下正常工作。金刚石的某些特殊性质 (如化学上的惰性、高的杨氏模量 )以及极大的压阻效应使其成为制作压阻型压力传感器的极佳材料。本文对利用多晶金刚石薄膜制造的新型高温、高灵敏度的压阻型金刚石微压力传感器 ，包括其原理、结构及其制造技术作了详......
6. 《可对多参数测量的硅传感器系统的研制》PDF+DOC 本文介绍了一种新型的可对多个目标测量的硅压力传感器系统的研制，它是把多个硅压力传感器组合成一个完整的传感器系统，用于对多个不同的对象同时完成独力测量。文章具体描述了对压力、流量、干度实施测量的原理、过程以及传感器系统的结构制作。...
7. 《混合集成型压阻式矢量水听器设计》PDF+DOC 提出一种小型化新型压阻式矢量水听器的设计、制作工艺方法。详细分析通过混合集成工艺技术制作的压阻式矢量水听器的性能指标：灵敏度、频率响应。实际设计、制作混合集成型压阻式矢量水听器并进行测试。得出采用本工艺制作出外形尺寸只有φ22mm&#215；40mm的三维矢量水听器具有良好的三轴正交性，每轴......
8. 《PSD信号处理电路的设计》PDF+DOC 位置传感器(Position Sensitive Detector，PSD)广泛应用于精度较高的非接触测量中，特别是在激光三角法微位移测量中，常采用PSD作为位置敏感元件感测光线的微小偏移。本文分析了PSD的原理和性质，并设计了PSD的信号处理电路，同时设计了微小信号电流的流压转换电路，将微弱的电流......
9. 《宽空气间距巨磁电阻齿轮转速传感器》PDF+DOC 本文设计了一种宽空气间距齿轮转速传感器。所研制的齿轮转速传感器选用巨磁电阻作为敏感元件，外加永磁体提供偏置磁场，通过信号处理电路采集齿轮转动过程中所产生的磁场变化信号，经过信号处理实现齿轮转速的测量。所研制的齿轮转速传感器不仅具有频率性能好，灵敏度高，体积小等优点，测量间距可超过4mm，解决了传统转......
10. 《SiC高温电容压力传感器封装结构优化》PDF+DOC 高温压力传感器，在航空航天及工业领域有广阔的应用前景。由于工作在高温环境中，需要进行封装结构和优化，以减小器件因热膨胀系数不匹配而产生的热应力。以热机械方程为理论基础，利用ANSYS Workbench计算机仿真工具，通过计算被封装元件表面的Von-Mises应力，调整衬底直径、衬底厚度以及粘合层厚......