作者：郭俊杰,邱丽荣,王允,孟婕,高党忠 单位：中国科学院长春光机所;中国仪器仪表学会 出版：《光学精密工程》2013年第03期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJM2013030160 DOC编号：DOCGXJM2013030169 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对目前原子力显微镜等方法只能测量激光惯性约束核聚变(ICF)靶丸外表面等难题，研制了高精度、非接触、小型化的激光差动共焦传感器(LDCS)。该传感器基于差动共焦原理，利用激光差动共焦轴向响应曲线的零点对靶丸内外表面和球心分别进行定位，并结合物镜微位移驱动技术，实现靶丸内外表面和壳层厚度的高精度测量。该方法减少了靶丸表面的反射率、倾斜等因素对测量瞄准特性的影响，显著提高了系统的抗干扰能力。将传统的显微成像与差动共焦测量光路进行有机融合，实现了对被测样品的精确瞄准。初步实验与理论分析表明：当测量物镜的数值孔径NA为0.65时，LDCS的轴向分辨力优于5nm，信噪比优于1 160，过零点的标准偏差为10nm。该传感器为激光惯性约束核聚变靶丸测量提供了一种新的技术途径。

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