作者：詹昌华,潘元志,赵小林,侯中宇 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2013年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2013040050 DOC编号：DOCCGJS2013040059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 实现了一种新型的电离式MEMS气体传感器，即线性阻抗电离式MEMS气体传感器。该传感器创新地采用了电导率而不是常用的击穿电压来检测不同的气体成分，这样可以避免高电压对器件的影响，提高器件工作状态的可重复性和稳定性。该器件在低压条件下不同气体组分中进行气体放电实验，测出了不同的伏安特性曲线和电导率值，从而证实了该器件的气体传感特性。

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