作者：梅加兵,刘景全,江水东,杨斌,杨春生 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013040340 DOC编号：DOCCGQJ2013040349 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 目前，铂电阻温度传感器主要应用于73 K(-200℃)以上环境的温度检测。设计了可用于10 K(-263℃)～200 K(-73℃)低温区的铂电阻温度微传感器。铂电阻温度微传感器采用对称的折回型结构，这种结构有效地降低了交流感抗的影响。传感器的敏感薄膜是一层采用磁控直流溅射沉积厚度为200 nm的铂薄膜。采用QD PPMS仪器测试传感器的电阻与温度的变化关系，得出传感器的电阻温度系数(TCR)：研制的温度传感器的电阻温度系数在温度高于30K(-243℃)时可达到9980&#215；10-6/K，同时在低于30K(-243℃)的深低温区域TCR也可达到3730&#215；10-6/K。

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