作者：李莹 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第04期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013040280 DOC编号：DOCCGQJ2013040289 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出了一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线电容式压力传感器，并具体讨论了传感器的设计、制作以及测试。与传统的LTCC工艺所不同的是，引入了碳膜作为牺牲层来填充传感器结构的内置式空腔，可以有效地防止空腔在层压和烧结时的变形。测试中传感器表现出了良好的灵敏度，高于之前国际上的研究水平。同时给出了现有结构优化改进的方向。

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