作者：李辉,朱向冰,王建亮 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013020260 DOC编号：DOCCGQJ2013020269 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于热温差原理，利用MEMS技术加工制备出高灵敏度微型气体流量传感器。该流量传感器采用热敏电阻器悬空结构，其热隔离性能较好，并利用温度系数大的VO2制备热敏电阻器；同时，利用机械性能和密封性能好的SU—8胶制备气流沟道，工艺简单，稳定性好，且成本较低，适合批量生产。实验表明：当传感器处于适当偏压下时，在0～30 mL/min的流速范围内响应速度快，灵敏度高，而且具有良好的线性度，适合生化检测、医疗等领域的应用。

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