作者：高平,陈拓 单位：北京航空航天大学 出版：《单片机与嵌入式系统应用》2013年第05期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDPJY2013050150 DOC编号：DOCDPJY2013050159 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 微电子制造技术的高速发展使微机电系统MEMS的应用迅速普及。本文以CPS120为例介绍数字压力传感器的应用，CPS120是电容式MEMS绝对压力传感器，在紧凑的封装中提供高精度气压测量功能，它同时还集成了温度传感器，适用于各种对成本敏感的消费电子产品和工业控制应用。

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