《压阻式微压力传感器结构参数设计》PDF+DOC
作者:王峰,谭晓兰,张敏亮
单位:中国仪器仪表学会;上海工业自动化仪表研究院
出版:《自动化仪表》2013年第03期
页数:4页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFZDYB2013030250
DOC编号:DOCZDYB2013030259
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在研究压阻式微压力传感器的结构参数的基础上,根据传感器的灵敏度与线性度特点,设计了一种量程为200 kPa的微压力传感器。在满足计算要求的条件下,对该传感器的每一个参数进行ANSYS仿真;并根据灵敏度、线性度及制作工艺的难易程度选择这些参数的最佳值。仿真结果表明,该设计方法对微压力传感器的研制具有一定的参考价值。
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