《微气体传感器结构设计和优化》PDF+DOC
作者:张晓波,陕皓,刘丽,王连元,李守春,王国光
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2013年第01期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2013010360
DOC编号:DOCCGQJ2013010369
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设计了一种新型微气体传感器的电极结构,这种共平面型电极结构消除了加热器产生的磁场对测量信号的干扰。利用铂作为电极材料,SiO2作为隔热层,利用有限元软件分析优化,当SiO2,Si的厚度分别为50,250μm,加热电极的宽度、信号电极的宽度和间距分别为150,15,60μm时,传感器获得的中心温度较高且比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。
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