作者：杨龙,王凌云,谷丹丹,王丽英 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017100060 DOC编号：DOCYBJS2017100069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《MEMS无线无源电容压力传感器结构设计及制备》PDF+DOC2013年第11期 李颖,梁庭,林斯佳,喻兰芳,崔海波 《MEMS接触电容式高温压力传感器的温度效应》PDF+DOC2013年第12期 郑志霞,冯勇建 《基于HTCC的新型薄膜高温压力传感器》PDF+DOC2018年第05期 王海星,吉耀辉,逯斐,谭秋林,熊继军 《微机械氮化硅梁谐振式压力传感器》PDF+DOC2001年第04期 陈德勇,崔大付,于中尧,王利 《电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究》PDF+DOC2010年第08期 刘猛,王军波,李玉欣,陈德勇 《外卡式PVDF压力传感器的设计》PDF+DOC2010年第03期 田静宜 《基于MEMS技术的金属应变式压力传感器优化设计》PDF+DOC2010年第02期 于留波,赵湛,方震,杜利东,丁国杰 《基于氧化铝陶瓷的无线无源压力传感器》PDF+DOC2014年第09期 郑庭丽,梁庭,洪应平,任重,李赛男,熊继军 《MEMS无源无线压力传感器研究》PDF+DOC2013年第11期 刘谨,欧文,高璇 《基于LTCC的无线无源压力传感器的研究》PDF+DOC2013年第04期 康昊,谭秋林,秦丽,李晨,丁利琼,张献生

    • 为解决压力传感器在密闭空间、高旋、生物体内等不适用引线的问题，设计了一种无线压力传感器。对传感器进行原理分析及结构设计，采用MEMS工艺对硅片及BF33进行加工，并搭建了谐振频率-压力测试平台，对传感器性能进行测试。压力测试范围为5~105 k Pa，在常温时的灵敏度为161.5 Hz/Pa，传感器具有较高的灵敏度，有利于提高压力检测精度。

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