《基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备》PDF+DOC
作者:李晨,熊继军,谭秋林,康昊,葛斌儿,王伟
单位:中国电子科技集团公司第四十九研究所
出版:《传感器与微系统》2013年第06期
页数:3页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFCGQJ2013060270
DOC编号:DOCCGQJ2013060279
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因陶瓷有稳定的电特性、机械鲁棒性和化学惰性而得到广泛的应用。为了实现高温、高压、潮湿等恶劣环境中的压力测试,以一种陶瓷和耐高温导电浆料为基质,采用低温共烧陶瓷(LTCC)工艺技术和非接触无线传输设计方法实现传感器的制备。传感器以LC谐振电路为基本工作原理,通过丝网印刷技术来实现电感、电容、导带等无源器件的安置,并且在空腔中填入碳膜(印刷碳浆料)有效地防止了层压中空腔的坍塌,所制传感器避免了器件的封装,引线外连,为传感器工作于高温、高压、潮湿等恶劣环境中奠定基础。
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