作者：谢军,刘清惓 单位：机械部北京机械工业自动化研究所 出版：《制造业自动化》2013年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXGY2013030360 DOC编号：DOCJXGY2013030369 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 提出一种基于MEMS传感器和数字信号处理技术的电容式露点传感器的设计，实现对大气环境的露点温度检测。利用24位Σ-Δ模数转换器对温度进行测量，并运用PID算法对多级半导体制冷器进行精确控制。经过光学冷镜式露点传感器的对比测试，验证了其露点测量误差小于0.4℃。该传感器体积小、功耗低、响应快，能够满足大气中水汽含量瞬态变化的测量要求，有望在气象观测领域获得应用。

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