作者：尤晶晶,王鸣,戎华,戴丽华 单位：中国光学学会 出版：《光学学报》2013年第08期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXXB2013080070 DOC编号：DOCGXXB2013080079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于SU-8光刻胶的高深宽比加工技术，设计了对加速度敏感的悬臂梁-质量块结构。理论推导了加速度与SU-8光刻胶悬臂梁-质量块结构的挠度、法布里-珀罗(F-P)腔的干涉光强之间的关系，得到了简化的计算公式，并讨论了传感器灵敏度和固有频率等主要影响因素。提出了一种新的“卍”形悬臂梁-质量块结构，分析和确定了传感器结构的各项参数。研究结果表明，“卍”形SU-8光刻胶结构能够得到较高的灵敏度，具有良好的检测模态，仿真结果与理论分析吻合，可以基于法布里-珀罗干涉原理实现对加速度的传感。

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