作者：官修龙,刘丽,何越,王连元 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第09期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017090050 DOC编号：DOCYBJS2017090059 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 利用金属铂良好的热敏、热阻特性，以及Si O2良好的绝热、绝缘性能，设计了以铂为加热电极、以Si O2为绝缘材料的新型共平面微结构气体传感器。为了使该传感器获得高且均匀的温度分布，利用有限元软件ANSYS对该传感器的电极和基底进行仿真分析，并进一步优化该传感器的基底以及电极参数。仿真结果表明：传感器基底形状设计为方形结构，基底的前Si O2层、中间Si层、后Si O2层的厚度依次为1、199、100μm，且加热电极的宽度及间距均为20μm、信号电极宽度为40μm时，传感器上获得了最佳的温度分布，此时的磁场分布也较好，有利于传感器整体性能的提高。

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