作者：代富,高杨,官承秋,周斌,何移 单位：中国电子科技集团第四十四研究所 出版：《半导体光电》2013年第01期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTG2013010120 DOC编号：DOCBDTG2013010129 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 分析了热温差型微流量传感器的热敏电阻自热对测量的影响和惠斯通电桥作为前端信号采集电路的不足，提出了相应的解决方法。利用ANSYS软件对热敏电阻自热的各种情况进行了仿真，发现当上下游热敏电阻的功率越接近且值越小时，传感器的输出信号越稳定。从仿真的结论和惠斯通电桥的不足出发，提出了以恒流电路作为信号检测前端电路的方法，不但可以基本消除传感器热敏电阻自热所造成的测量误差，而且改善了由于电源不稳定给传感器测量造成的影响。分析表明，当流速为1m/s、流道高度为150μm时，传感器的测量误差降低了1%左右。

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