作者：吕海峰,彭小明,刘静 单位：中国兵器工业第五九研究所 出版：《包装工程》2013年第01期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBZGC2013010320 DOC编号：DOCBZGC2013010329 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 热变形是导致加速度传感器输出特性随温度变化的主要原因。在分析电容式加速度传感器工作原理的基础上，采用有限元方法对加速度传感器的热变形进行了仿真分析。仿真结果表明：当传感器结构完全对称时，差分方式将结构的热变形相互抵消，传感器的输出不会发生变化；加工误差导致的结构不对称使变热形向刚度较小的一侧发展，从而使传感器的输出产生漂移。温漂试验表明，当环境温度升高40℃时，传感器的输出下降了76 mV。加工中应严格控制工艺流程，确保传感器结构对称，减小热变形。

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