作者：吴大军,唐祺,杨姗姗,温殿忠 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第09期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013090060 DOC编号：DOCBDTQ2013090069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《一种新型结构的湿度传感器》PDF+DOC1989年第02期 高元恺,韩爱珍,卢钢,吴杰 《一种新型CMOS兼容湿度传感器》PDF+DOC2004年第02期 顾磊,黄庆安,秦明,张中平,严先蔚 《MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究》PDF+DOC2011年第09期 张广庆,赵成龙,秦明 《MEMS湿度传感器信号采集与数字化处理研究》PDF+DOC2008年第11期 王康,秦明 《一种仿侧线神经丘的MEMS矢量水听器设计》PDF+DOC2019年第07期 张小勇,沈倪鑫,尚珍珍,纪松祥,张国军 《电容型湿度传感器模型计算与分析》PDF+DOC2010年第11期 单晓锋,杨建红 《多壁碳纳米管湿度传感器频率特性(英文)》PDF+DOC2010年第04期 刘晓为,赵振刚,王鑫,周新来 《变压器油中微水含量在线监测研究》PDF+DOC2009年第01期 陈新岗,田晓霄,杨奕,古良玲 《基于MEMS器件的姿态航向参考系统设计及应用》PDF+DOC2007年第03期 张谦,裴海龙,罗沛 《基于微波谐振腔的湿度传感器》PDF+DOC2006年第05期 姜宇,丁雪梅,杨国辉

    • 描述了新型金属-Al2O3-PI-金属电容式湿度传感器的结构及工作原理，利采用Matlab软件模拟了介电常数和湿度的关系，采用MEMS技术制造了新型湿度传感器，设计了测试方案，测量和分析了该新型湿度传感器的灵敏度特性和迟滞特性，分析了测试数据产生偏差的原因。测试结果显示，湿度传感器的灵敏度为单位湿度变化8 pF，湿度低于RH80%，线性度非常好。湿度传感器的迟滞特性良好，在RH70%时，迟滞差最大约为RH3%。分析结果表明，该湿度传感器结构合理，工艺成功，重点解决了该传感器的涂覆聚酰亚胺后蒸铝工艺与CMOS标准工艺兼容问题。为利用CMOS标准工艺进行集成MEMS湿度传感器的研制做出了有益的尝试，传感器的线性度和迟滞特性指标符合要求，该新型湿度传感器在现代MEMS技术中具有良好的应用前景。

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