作者：张柳超,江毅,王素梅,刘达 单位：中国兵工学会;北京理工大学;中国北方光电工业总公司 出版：《光学技术》2017年第04期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFGXJS2017040100 DOC编号：DOCGXJS2017040109 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 报道了一种基于飞秒激光加工的微纳高温振动传感器。通过熔接形成单模光纤-空芯光纤-单模光纤的结构，利用单模光纤和空芯光纤在熔接面形成的菲涅尔反射，构成外腔式法布里-珀罗干涉仪(EFPI)。用飞秒激光烧蚀空芯光纤，形成悬臂梁结构。末端的单模光纤作为质量块，在受到振动时带动悬臂梁振动，使悬臂梁产生微弯，进而使EFPI腔长发生变化。实验结果表明，传感器的工作区域为20~300Hz，在100Hz时，0~3.01g范围内测得加速度分辨率为5&#215；10-4 g，加速度响应灵敏度为129.6nm/g。传感器受温度影响小，腔长的温度交叉响应仅为0.225nm/℃，传感器可耐950℃高温冲击。

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