作者：侍艳华,何秀丽,高晓光,贾建,李建平 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第07期 页数：8页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013070070 DOC编号：DOCBDTQ2013070079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对气体红外吸收的气动探测应用，设计并制备了一种基于微电子机械系统(MEMS)技术的热膜式微流量传感器。研究了热敏电阻间距以及工作温度对传感器灵敏度的影响。当热敏电阻间距为200μm、工作温度为150℃以及气体流量在-5～5 mL/min时，微流量传感器输出信号与气体流量成线性关系，灵敏度约为299 mV/(mL/min)。微流量传感器气体流量理论检测下限约为1.7μL/min，在气体流量为6μL/min时，响应时间(90%)和恢复时间(90%)分别为16和34 ms。研究了微流量传感器温度补偿方法，消除了环境温度对灵敏度的影响。

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