作者：杨熹,任忠原,马长宝,姚子龙 单位：浙江师范大学 出版：《浙江师范大学学报(自然科学版)》2013年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZJSZ2013020090 DOC编号：DOCZJSZ2013020099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 介绍了一种新型的基于陶瓷基片加工工艺的π形梁15 000 m/s2厚膜压阻式加速度传感器.在加工过程中采用厚膜工艺与梁加工成型工艺，从而保证了梁结构的完整性.分析了该传感器的结构参数和灵敏度，同时介绍了其工艺流程及封装后的测试结果.基片尺寸为15 mm&#215；6 mm&#215；1 mm，其中敏感质量块尺寸为6 m&#215；6 mm&#215；1 mm，梁尺寸为3 mm&#215；6 mm&#215；0.3 mm.经初步测试，在采用12 V电源供电时灵敏度为0.002 4mVs2/m左右，响应频率为1.29 kHz。

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