作者：胡佳,杜晓松,蒋亚东 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2013年第02期 页数：3页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2013020030 DOC编号：DOCYBJS2013020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 研究了用于检测挥发性有机化合物(VOC)蒸汽的声表面波传感器阵列。阵列结构应紧凑布局，以缩短响应时间。开环检测声表面波振荡环路S21参数，以降低设计难度。使用参考环路以精确读取传感器的输出信号。使用气喷工艺制备敏感膜以改善成膜质量。该传感器阵列对VOC蒸汽具有较高的灵敏度和较强的分辨能力。

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