作者：姜波,齐杏林,赵志宁,吕静 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第02期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013020030 DOC编号：DOCCGQJ2013020039 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC1996年第06期 黄智伟 ,李富英 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC2002年第03期 吴雄 《基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC2006年第05期 葛益娴,王鸣,陈绪兴,李明 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC2015年第04期 何洪涛,王伟忠,杜少博,胡立业,杨志 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC2017年第06期 齐娜,付士民,王世宁,刘兴宇,陈丽洁 《高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真》PDF+DOC2018年第01期 李阳,曹民,胡秀娟 《用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器》PDF+DOC2005年第03期 陈爽,李晓莹,马炳和,苑伟政 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC2005年第03期 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云 《一种新型MEMS温度传感器》PDF+DOC2011年第09期 时子青,陈向东,龚静,李秀梅 《压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构》PDF+DOC2015年第09期 揣荣岩,代全,王健,梁峭,衣畅

    • 随着MEMS技术、集成电路技术和材料制备与特性研究工作的进展，必将使得MEMS压力传感器的批量生产、在弹药中的大量应用成为可能。系统地分析MEMS压力传感器的特点、分类及国内外发展现状，包括研究现状、产品现状和MEMS压力传感器在弹药中的应用，对相关的科学研究具有重要意义。

    📙 相关资料

    1. 《美国生物医学界的MEMS器件的应用和研究动向》PDF+DOC 本文分两部分概要地介绍了美国生物医学界应用MEMS(微电子机械系统)微传感器和MEMS微系统的研究动向。...
    2. 《汽车MEMS传感器的应用及发展》PDF+DOC 本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS(微机电系统)传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。...
    3. 《基于强度解调的Fabry-Perot型光纤MEMS压力传感器》PDF+DOC 运用微机械系统加工技术制作了一种新型法布里-珀罗干涉型光纤微机电系统压力传感器，该传感器通过测量反射光谱的移动测量压力.运用多腔干涉原理对该传感器进行理论以及模拟分析得出，通过改变压力传感器的尺寸可较容易的调节压力线性测量范围和灵敏度.实验结果表明，在压力线性测量范围[0.1~1.0]MPa内，灵敏......
    4. 《一种新型MEMS压阻式SiC高温压力传感器》PDF+DOC 提出采用SiC材料来构造特殊环境下使用的MEMS压阻式高温压力传感器。分析了国际上特种高温压力传感器发展的主流趋势和技术途径，根据该领域应用需求、SiC材料特点和成本的多方权衡，开发了压阻式SiC高温压力传感器。通过理论模型结合ANSYS软件进行敏感结构的仿真和设计，解决了SiC压力传感器加工工艺中......
    5. 《基于MEMS压力传感器阵列的浪涌检测技术研究》PDF+DOC 提出了一种基于微机电系统(MEMS)压力传感器阵列的浪涌检测技术。通过在压力作用区域内布放MEMS压力传感器阵列，从而获取各测试点上的压力值，对这些压力值进行处理得到相应区域的压力变化趋势。经MEMS压力传感器阵列检测实验系统验证表明：此设计方案能够准确检测到浪涌信号，分辨出浪涌的方向及幅值变化。...
    6. 《高灵敏度MEMS压力传感器的设计与模型仿真》PDF+DOC 针对人工智能领域，研究人员对高灵敏度的的微型压力传感器的迫切需求，设计基于惠斯通电桥的MEMS压力传感器。相比于其他传感器，微机电压力传感器尺寸更小，灵敏度更高。传感器表面的压敏薄膜中制有惠斯通电桥电路，电桥的输出电压与应力大小呈线性关系，输出电压的大小则表示压敏薄膜的灵敏度高低。通过ANSYS软件......
    7. 《用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器》PDF+DOC 为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测，设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具，并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸，并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为......
    8. 《体微加工技术在MEMS中的应用》PDF+DOC 微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技......
    9. 《一种新型MEMS温度传感器》PDF+DOC 提出了一种新型的基于硅微桥的MEMS温度传感器。传感器是由表面制有惠斯通电桥的硅微桥和淀积在其表面的温敏聚合物薄膜构成。应用弹性力学薄板理论分析了该温度传感器的模型。分析表明：硅微桥的输出与温度变化呈线性关系。在温敏薄膜材料参数已知时，采用大面积、高厚度，可以改善传感器性能。...
    10. 《压阻式高固有频率Z轴加速度敏感结构》PDF+DOC 基于微机电系统(MEMS)技术的加速度传感器因其性价比高、易于集成化而得到广泛应用，但在普通MEMS加速度敏感结构中仍然存在灵敏度和固有频率相互制约的弱点。为此，文中优化设计了一种压阻式新型加速度敏感结构，该结构在弹性梁加质量块的基本结构上引入了敏感微梁，在保证高灵敏度的同时，显著提高了固有频率。其......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。