《基于稳态扫频的MEMS谐振压力传感器芯片测试》PDF+DOC
作者:李晓莹,张艳飞,任森,邓进军,苑伟政
单位:中国电子科技集团公司第十三研究所
出版:《微纳电子技术》2013年第04期
页数:6页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDTQ2013040050
DOC编号:DOCBDTQ2013040059
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针对硅微谐振式压力传感器开环测试的需求,提出了一种基于稳态扫频的硅微谐振式压力传感器芯片测试方法,实现了高精度扫频激励信号电路与高分辨率检测电路的设计。此设计将单片机技术与直接数字频率合成技术的优点相结合,实现了范围为1 kHz~1 MHz精确扫频,其最小扫频步距为1 Hz。通过算法补偿有效减小了扫频激励信号的频率误差,使其平均绝对误差低于0.08 Hz。在幅值检测电路设计中,采用峰值检测电路与差分PulSAR ADC电路相结合,实现了传感器输出信号电压幅值的高分辨率检测,实测得到传感器幅频曲线,并对谐振器的谐振频率稳定性进行了测试,计算出了谐振器的机械品质因数和谐振频率等参数,为谐振器结构优化设计提供了依据。
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