作者:何世堂,王文,刘久玲,刘明华,李顺洲 单位:中国科学院声学研究所 出版:《应用声学》2013年第04期 页数:11页  (PDF与DOC格式可能不同) PDF编号:PDFYYSN2013040050 DOC编号:DOCYYSN2013040059 下载格式:PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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  • 基于声表面波技术的气体传感器包括采用敏感膜和结合气相色谱两种方式。比较而言,采用敏感膜的声表面波气体传感器体积小、功耗低,适应小型化毒气报警器的发展要求,但可检测的气体种类少、灵敏度低、存在交叉干扰问题;声表面波与气相色谱联用的气体分析仪灵敏度高、可检测气体种类多、很好地解决交叉干扰问题,特别适合于复杂大气背景条件下的气体成分分析。本文从传感器响应机理分析与物理功能结构两方面出发介绍了两类声表面波气体传感器的研究进展情况。

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