作者：温旭霞 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第04期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017040060 DOC编号：DOCYBJS2017040069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 设计并制备了一种可应用于恶劣环境的基于LTCC(低温共烧)陶瓷的集成温度和压力的双参数传感器。温度变化使LTCC基底介电常数变化，引起LC谐振电路的谐振频率变化；压力使LC谐振电路的电容极板间距离减小，从而使谐振频率发生变化，然后通过无线磁耦合的方式读取传感器信号。在高温压力复合平台对传感器温度和压力特性进行了测试和分析。实验结果表明：测量的传感器谐振频率随压力成线性减小；在相同压力下，传感器谐振频率随着温度的升高而减小；温度升高会使压力传感器响应灵敏度提升。

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