作者：张海波,唐杨超 单位：黑龙江省科普事业中心 出版：《科学技术创新》2017年第11期 页数：2页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHLKX2017111200 DOC编号：DOCHLKX2017111209 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 本文介绍一种一维直线光栅线位移传感器检测系统。本系统的滑块导轨座与滚珠导轨座平行设置，第一夹持滑块和第二夹持滑块均设置在滑块导轨座上；第一、二夹持机构分别设置在第一、二夹持滑块上；第一、二夹持机构夹持住被检测直线光栅线位移传感器；滚珠导轨座上设置滚珠滑块，滚珠丝杠驱动滚珠滑块沿着滚珠丝杠的轴线方向运动；滚珠滑块上设有光栅读数头；反射镜设置在滚珠滑块的上表面；滚珠丝杠的一端连接电机，另一端设置在轴承座上；三光轴激光干涉仪设置在基台上，三光轴激光干涉仪的激光射出方向与滚珠丝杠的轴线平行，且能够垂直射到反射镜上。

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