作者：许素安,钱飞,谢敏,黄艳岩,富雅琼,陈乐,孙坚 单位：中国微米纳米技术学会;东南大学 出版：《传感技术学报》2013年第12期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGJS2013120090 DOC编号：DOCCGJS2013120099 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为适应工业发展和计量界对精密定位提出的越来越高的要求，提出了基于偏振激光干涉技术的纳米定位方法。在该干涉测长系统中，用偏振计取代传统单频激光干涉仪的光电传感器并配置偏振分光元件、起偏镜等，可将干涉仪出射光的干涉条纹相位细分为36 000份，使用波长为633 nm的激光源，可将理论测量分辨率提高到10 pm。将完成的偏振干涉测长系统与商用SIOS干涉仪的实验测量结果做了比对。对完成的实验系统的各误差源做了实验研究，得到量化值。经不确定度评估计算，在标准实验室环境条件下，对于微米级行程的位移，其位置测量不确定度小于1.4 nm。该方法可应用于纳米定位的各个领域。

    📙 相关资料

    1. 《纳米时栅位移传感器误差模型建立与分析》PDF+DOC 纳米时栅是利用交变电场进行精密位移测量的新型传感器。由于传感器的安装偏差、结构实现、基体加工和工作环境变化等均会导致测量误差。为研究误差的产生原因及对测量精度的影响规律，在纳米时栅传感器的测量模型基础上，建立了由于驻波参数变化产生的测量误差模型，具体分析了驻波信号参数变化中幅值不相等、相位不正交、含......
    2. 《纳米定位机构及其控制系统的研究》PDF+DOC 在纳米科学与技术领域 ，纳米定位技术是纳米测量和原子操作工程研究及走向产业化的前提条件和工作基础。本文设计了一种新颖的以柔性铰链为弹性导轨、压电陶瓷为驱动器的纳米定位机构 ，给出了其动力学模型 ，结合纳米传感器微位移检测装置和微机控制系统设计并研制了数字闭环控制的纳米定位系统。实验表明 ：该纳米定位......
    3. 《纳米定位控制中消除PZT滞后及蠕变的方法》PDF+DOC 总结了近年来用ＰＺＴ致动器进行纳米线性定位控制的方法，对其特点和局限性进行了分析，并提出了一种可望在较大行程范围内获得亚纳米定位分辨率的方法。...
    4. 《无刷直流电动机快速定位系统的研究》PDF+DOC 介绍了一种无刷直流电动机定位控制系统，采用无刷直流电动机固有的霍尔检测器的输出信号，经过倍频和辨向处理，作为位置反馈信号，不需要另外的位置反馈元件。...
    5. 《新型智能电化学微加工系统的研究》PDF+DOC 约束刻蚀剂层技术是三维超微图形复制加工的新型技术。本文根据约束刻蚀剂层技术的工艺特点 ，介绍了约束刻蚀剂层电化学微加工仪器的组成 ，讨论了具有微力传感的纳米级微定位系统的研究与开发。利用研制的加工仪器 ，在半导体GaAs进行刻蚀加工 ，复制出微孔阵列 ，其排列周期与模板的微锥阵列的排列周期吻合得很好......
    6. 《电容传感器及其纳米量级定位技术》PDF+DOC 介绍了大型天体望远镜光学镜面面形的控制方法和工作原理。该大型天体望远镜 10m直径的主镜由 36块对角线长 1.8m的六角形子镜拼接而成 ，应用电容测微技术使此超大型镜面的共面性达到纳米量级的定位控制。通过检测原理的分析 ，阐述了电容式传感器在使用中提高其准确度和长期稳定性的理论分析和具体技术措施 ......
    7. 《磁悬浮微驱动器的定位控制系统设计》PDF+DOC 针对磁场同步跟随式磁悬浮微驱动器，构建了新型的集驱动、测量和控制于一体的磁悬浮微驱动器定位系统。设计了一套以DSP为核心的硬件控制板的运行软件。采用LabVIEW软件实现了上位机的数据采集、显示、分析及保存等功能。以(1.231，1.227)mm、(1.529，1.516)mm两点为目标进行了定位实......
    8. 《探针定位系统的设计》PDF+DOC 目前，低湍流风洞试验中使用的探针定位系统定位精度低，因而试验结果的可靠性及精度差，同时耗时长，浪费大量的动力费以及试验人员。为克服这些缺点，通过分析PLC的特点及其在定位系统中应用的优势，结合系统的控制要求，提出了定位系统的控制方案，并设计出全数字控制的探针定位系统。该系统可同时适用于热线风速仪、压......
    9. 《基于加速度传感器的矿井提升机定位系统的研究》PDF+DOC 矿井提升机的控制本质就是提升机料斗的定位控制，为了提高提升效率要求提升机料斗一次定位并且定位精度要高，设计采用加速度传感器检测料斗提升或下降过程中的加速度来精确求取料斗的位置，检测装置质量轻，性能稳定，精度高且体积小等。由于加速度传感器灵敏度高，外界振动、噪声等的干扰会使采集的加速度信号出现干扰波动......
    10. 《基于偏振分束器的保偏型光纤传感器解调方法》PDF+DOC 为提高光纤传感器的解调技术，提出一种采用保偏光纤(Polarization maintaining fiber，PMF)和光偏振分束器(polarizing beam splitters，PBS)的光纤光栅传感器解调方案。利用PBS的偏振分束功能和PMF偏振模式间干涉原理，建立理论模型，运用矩阵光学......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。