作者：齐向前 单位：河南省科学技术信息研究院 出版：《河南科技》2013年第07期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFHNKJ2013070910 DOC编号：DOCHNKJ2013070919 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 作为在集成电路技术基础上发展起来的新兴技术，微机械加工技术因其涉及到十分广泛的领域和在使用中体现出来的重要性，受到了社会的普遍关注和重视，包括我国在内的很多国家都对该技术上投入了较多的资金和热情。基于此，本文对微机械加工技术及其在传感器中的应用问题进行了研究，希望通过本文的工作为这一技术的应用提供一定的可供借鉴的信息。

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