作者：丁如义,张欢,孙全涛,王海容,陈磊 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2013年第10期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2013100310 DOC编号：DOCCGQJ2013100319 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC2015年第04期 刘丽丽,何越,刘震,王连元,刘丽,苏畅,薄小庆,张晓波 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC2002年第S1期 黄正兴,唐祯安,申爽,陈正豪 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC2014年第09期 刘丽丽,王连元,郭欣,刘震,刘丽 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC2014年第07期 迟霄,张晓波,刘丽,何越,王连元 《硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真》PDF+DOC2015年第12期 刘凯强,余隽,唐祯安 《一种用于微热板加热驱动的带隙电压源设计》PDF+DOC2017年第01期 程义军 《EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究》PDF+DOC2020年第04期 曹睿,余隽,吴昊,朱思鹏,李中洲,唐祯安 《基于MEMS工艺的NO_2气体传感器研制》PDF+DOC2018年第07期 王成杨,李玉玲,丁文波,金建东,王冲 《基于辐射功率的微热板测温系统设计》PDF+DOC2008年第04期 漆奇,张彤,刘丽,刘奎学,徐宝琨 《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC2004年第06期 张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞

    • 在传统“三明治”夹层结构的基础上，微热板将加热丝埋入到基底绝缘层中，通过周围绝缘层介质对加热丝的约束作用，减小了Pt加热丝与基底以及覆盖层热膨胀系数失配所产生的热应力对器件稳定性造成的影响，从而提高微热板在高温工作时的稳定性。主要加工工艺流程为：利用热氧化方法和LPCVD在4 in硅片两侧制备SiO2/Si3N4介质层，在待埋入加热丝的位置通过RIE制作出坑槽，然后利用剥离工艺制备出双曲螺旋形状Pt加热丝，在硅片的背部利用RIE干法刻蚀和湿法刻蚀加工出绝热槽，最后在加热丝的上方沉积一层SiO2绝缘层并在引线盘位置开窗。通过实验验证：该微热板在350℃内可以稳定工作，微热板在有效面积内(5 mm&#215；5 mm)温度均匀性好，功率约为130 mW(350℃时)。

    📙 相关资料

    1. 《微气体传感器微热板的优化设计》PDF+DOC 基于铂的热敏热阻特性和Si O2的绝热绝缘特性，设计了一种以铂作为电极材料，Si O2作为隔热层和绝缘层材料的微气体传感器的硅基微热板结构。利用有限元分析工具对微热板的基底和电极分别进行了设计和优化，并分析了微热板的热场和磁场分布。当基底设计为前Si O2层、中间Si层、后Si O2层3层结构且厚度......
    2. 《气压和流速对微热板气体传感器的影响》PDF+DOC 微热板具有加热功耗低和热电动态响应快的优点 ，是集成气体传感器等微传感器的核心部件。通过实验测定 ，介绍气压和流速对微热板气体传感器性能的影响...
    3. 《微气体传感器微热板电极结构的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种微气体传感器微热板的电极结构，利用有限元分析工具ANSYS对该微热板的温度场和磁场分布进行了分析和优化，研究了微热板加热电极的宽度和间距对温度分布的影响，并对测量电极的结构进行了优化。结果表明：当微热板加热电极的宽度和间距分别为20μm和10μm且测量电极为无叉指结构时，微热板中心区域能获......
    4. 《新型气体传感器微热板的设计与优化》PDF+DOC 设计了一种新型气体传感器的微热板结构，利用铂作为电极材料，SiO2作为隔热层和绝缘层。通过有限元分析工具分析了基底中各材料厚度不同时微热板的温度分布，并对测量电极的结构进行了优化。当微热板的基底中前SiO2层、中间Si层、后SiO2层的厚度分别为50μm、150μm、100μm且测量电极不放叉指时，......
    5. 《硅微热板气体传感器应力调节系统设计与仿真》PDF+DOC 将微热板与静电梳齿执行器结合，设计出一种恒温加热状态下调节气敏薄膜(SnO_2)应力的系统结构。采用有限元软件(COMSOL Multiphysics)仿真分析了不同温度下器件的形变、气敏薄膜中的应力分布及其调节范围。仿真结果表明，气敏薄膜中的应力随着静电梳齿执行器驱动电压的升高而下降，成功实现对气......
    6. 《一种用于微热板加热驱动的带隙电压源设计》PDF+DOC 本文基于集成微热板气体传感器的恒温加热需求，在对微热板进行测试分析的基础上，采用SIMC的0.18微米标准CMOS工艺设计了具有自启动电路的片上带隙电压源。该基准作为微热板加热驱动的一部分，为了匹配后续电压-电流转换电路的供电电压，采用5V的器件模型，利用Hspice完成了电路的仿真分析，并利用Ca......
    7. 《EHD喷墨打印制备微热板气敏材料的研究》PDF+DOC 采用静电流体动力学(EHD)喷墨打印技术在微热板上沉积了气敏材料。将纳米气敏材料分散到溶剂中制备出墨水，研究了墨水材料、打印距离和针头尺寸等参数对起始电压的影响，实验结果与理论估算相一致。在制备微热板气体传感器的过程中，利用计算机控制三坐标平移台移动实现微热板与打印点的对准。采用外径为300μm、内......
    8. 《基于MEMS工艺的NO_2气体传感器研制》PDF+DOC 设计了一种基于微机电系统(MEMS)工艺的以氧化钨(WO3)为敏感材料的微结构气体传感器，并从半导体理论解释了WO3对二氧化氮(NO_2)的敏感机理。气体传感器芯片尺寸为1.3 mm&#215；1.3 mm，微热板的有效面积为0.4 mm&#215；0.4 mm。实验结果表明：设计的......
    9. 《基于辐射功率的微热板测温系统设计》PDF+DOC 为了解决微小芯片表面测温的难题，设计了一种非接触式微区测温系统。首先利用光纤探头和光功率计测量微热板的辐射功率，再结合辐射功率与温度的关系，精确地测出微热板表面50μm&#215；50μm区域内的温度。实验测试结果与利用有限元分析软件Ansys得到的模拟结果基本一致，并且更换不同口径的光纤探......
    10. 《微热板式气压传感器结构设计与热分析》PDF+DOC 给出了采用牺牲层技术制作的微热板式气压传感器的加工工艺和工作原理。分析了微热板各层薄膜厚度、微热板下气隙高度、支撑桥尺寸、微热板面积大小对传感器加工、工作性能的影响，并结合实际工艺条件设计了一种采用不同支撑桥尺寸的传感器结构。理论分析了恒温加热方式下微热板各种传热途径随气压的变化关系；用有限元方法模......

    提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。