作者：吕启蒙,吴光敏,楚合群,JOHN D Mai,陈剑鸣 单位：中国电子科技集团公司第二十六研究所 出版：《压电与声光》2013年第05期 页数：5页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYDSG2013050170 DOC编号：DOCYDSG2013050179 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于微机电系统(MEMS)技术的薄膜体声波谐振器(FBAR)在无线通讯领域取得了巨大的成功后，由于其具备厚度薄，体积小，与IC兼容及谐振频率和灵敏度都远高于传统的微质量传感器(如石英晶体微天平)等优势，逐渐在微生物分子检测方面崭露头角。由于微生物分子大都生存于液体环境，而纵波模式下FBAR微质量传感器在液体环境中声波损耗大，其品质因数Q值只有3.53。因此，该文在分析了纵波模式下FBAR微质量传感器在气相和液相环境中的特性后，针对液相环境中传感器Q值较低问题，设计了一种具有微通道的FBAR微质量传感器，使其Q值达到30.85，增加了近9倍，从而提升了纵波模式下FBAR微质量传感器对液体中微生物分子检测的性能。

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