《日本产综研利用MEMS技术实现静电传感器的小型化》PDF+DOC
作者:赵佶
单位:中国电子科技集团公司第五十五研究所
出版:《》
页数:1页 (PDF与DOC格式可能不同)
PDF编号:PDFBDXX2013040180
DOC编号:DOCBDXX2013040189
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日本产业技术综合研究所开发出了基于MEMS(微电子机械系统)技术的静电传感器,并在“日本NanoMicroBusiness展”(东京有明国际会展中心,7月5日闭幕)上进行了展示。传感器部分安装有借助悬臂悬浮的微小电极。带静电荷的物体靠近传感器后,微小电极的电位就会发生变化,根据这一变化就能测出静电容量。试制的传感器部分的尺寸约为数mm见方,可轻松实现阵列化。使用实现了阵列化的传感器,还能测量静电的表面分布。
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