作者：徐爱东,张旭辉 单位：中国电子科技集团公司第十三研究所 出版：《微纳电子技术》2013年第05期 页数：6页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFBDTQ2013050070 DOC编号：DOCBDTQ2013050079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 在分析微机械热对流加速度传感器的工作原理及其有限元仿真的基础上，对传感器的瞬态响应进行了分析，建立了描述热对流加速度传感器频率响应特性的半定量的理论模型。结合有限元仿真结果，模型预测的热对流加速度传感器的频响与实际的传感器的频响较好地吻合。设计了传感器频率补偿电路，讨论了电路参数优化的途径，通过电路仿真方法得到优化的电路参数，仿真得到的补偿之后-3 dB带宽为112.5 Hz，构筑了传感器频率补偿电路并对补偿效果进行测试。结果表明：补偿之前-3 dB带宽为22.6 Hz，补偿之后实测-3 dB带宽拓展为106.0 Hz，与仿真结果基本吻合，成功将传感器频响扩展到100 Hz以上，满足应用的需要。

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