作者：龙亮,钟少龙,吴亚明 单位：中国微米纳米技术学会;天津大学 出版：《Nanotechnology and Precision Engineering》2013年第03期 页数：9页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFNMJM2013030070 DOC编号：DOCNMJM2013030079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 为实现微型化、低功耗、低成本和高灵敏度的磁传感器，提出了一种基于微型磁扭摆结构的磁传感器，并利用对角度变化非常敏感的差分电容检测技术对磁扭摆的扭转角度进行检测.设计的磁传感器包括微扭摆结构、磁性敏感薄膜和差分检测电容等部分.分析了器件的磁敏感原理和电容检测原理，给出了器件的结构参数和综合设计考虑.利用体硅加工工艺成功制作出了磁传感器样品，并进行了实验测试.测试结果表明磁传感器有良好的线性度和重复性，其磁场检测的电容灵敏度可达到0.2 fF/Gauss.根据对磁传感器的热噪声分析，可得到磁传感器最小可分辨的磁场为6.72μT.该磁传感器结构简凑、工艺简单，无需电流激励，大大降低了磁传感器功耗。

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