作者：赵玉龙,刘岩,孙禄,蒋庄德 单位：中国机械工程学会 出版：《机械工程学报》2013年第06期 页数：7页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFJXXB2013060270 DOC编号：DOCJXXB2013060279 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 针对装备智能化与监测系统无线化发展对振动传感器的要求，基于微机电系统和应力集中技术，提出并研制一种具有孔缝双桥结构的高灵敏度、高固有频率的压阻式微型加速度传感器。结合理论分析与数值计算方法，分析该结构的特性，通过研究孔缝尺寸对传感器性能的影响确定传感器敏感结构尺寸。传感器芯片采用微细加工工艺制作，并在简单的封装之后进行静态、动态性能测试。试验结果表明，孔缝双桥结构加速度传感器在3 V供电电压下，灵敏度可达到0.424 mV/g，相对传统双桥结构提高了60%以上，而测得的固有频率相对于传统双桥结构仅略有下降，仍在10 kHz以上。孔缝双桥结构加速度计通过引入应力集中孔缝，以较小的固有频率损失，明显提高了传感器的测量灵敏度，具有更为优良的综合性能。

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