《IC晶圆高效稳定传输原理与实现》PDF+DOC

在超大规模集成电路(IC)制造过程中，晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输，晶圆传输能力对整个IC产业的发展至关重要。晶圆传输机器人是IC制造领域的关键设备之一，承担着晶圆定位与快速、平稳搬运任务。随着IC制造向着大尺寸(直径≥300mm)晶圆与小线宽(≤32nm)方向发展，晶圆生产线工序更集中，加工速度更快，工作环境更洁净，这对晶圆传输机器人性能提出了更高要求。为了实现大尺寸超薄晶圆的高效稳定传输，我们从晶圆传输机器人精确平稳轨迹跟踪控制、面向晶圆传输的微阵列传输面设计以及接触面微力与粘滑检测触觉传感器设计等3个方面开展了研究。针对现有晶圆传输机器人样机中各个运动关节不同步和末端手的振动问题，我们提出把交叉耦合控制技术和输入整形控制同时应用到平面关节型晶圆传输机器人中，达到减小轨迹跟踪时的轮廓误差和消除柔性传动环节引起的末端执行器振动的目的，实现了机器人精确平稳轨迹跟踪控制。针对目前凸点支承式末端执行器传输晶圆时摩擦系数较小、传输效率低下的不足，我们提出了一种基于微米级垂直微阵列结构的新型晶圆传输面设计方法，实验表明该方法有效提高了晶圆传输加速度，可显著提高.....。

提示：百度云已更名为百度网盘（百度盘），天翼云盘、微盘下载地址……暂未提供。