作者：张龙赐,颜志红,曹勇全 单位：沈阳仪表科学研究院有限公司 出版：《仪表技术与传感器》2017年第01期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFYBJS2017010070 DOC编号：DOCYBJS2017010079 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 基于氢敏材料检测氢气浓度的工作原理，针对合金薄膜型氢气传感器加热电阻小、达到最佳工作温度时间长等特点，设计了一种低功耗合金薄膜氢气传感器。利用有限元分析软件ANSYS Workbench对该结构进行了热分析，结果表明，该种结构在加热功耗为0.2 W，总功耗为0.8 W时，能够短时间内将该氢气传感器加热到最佳工作温度。根据MEMS技术制备了合金薄膜型氢气传感器，实验结果与理论分析具有很好的一致性。该研究为薄膜型氢气传感器的低功耗设计与微小型封装提供了重要依据。

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