作者：王凡,崔宏敏,宗义仲,王文博 单位：中国电子科技集团公司第四十九研究所 出版：《传感器与微系统》2017年第03期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFCGQJ2017030230 DOC编号：DOCCGQJ2017030239 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑
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    • 为了满足在工程型号上的使用要求，解决真空压力传感器敏感探头壳体与传感器壳体隔离绝缘问题；传感器输出信号非线性的补偿问题；传感器热零点漂移的全电路的温度补偿问题，采用电容式薄膜封装结构，壳体为电容的另一极，在0.1~100 Pa的范围内进行了校准测试，实现了传感器0.2%FS的测量精度。

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