作者： 单位：美国国际数据集团 出版：《电子产品世界》2013年第11期 页数：1页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFDZCS2013110060 DOC编号：DOCDZCS2013110069 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)微电子机械系统，出现于19世纪，从上世纪60年代起经过美国科技人员的不断开发改进，并于1989年首先提出了“微电子技术应用于电机系统”的概念。由此，MEMS成为微机械等领域的学术用语，MEMS技术也成为热门研究课题。MEMS随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展，MEMS是感知、计算和执行的融合，它把电子技术与机械特性有机地结合了起来，可同时实现物理、化学、生物等方面的功能，现已渗透到电子、机械、物理、化学、医学、

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