作者：孙禄,赵玉龙,刘岩 单位：南京航空航天大学;全国高校机械工程测试技术研究会 出版：《振动.测试与诊断》2013年第S1期 页数：4页  （PDF与DOC格式可能不同） PDF编号：PDFZDCS2013S10390 DOC编号：DOCZDCS2013S10399 下载格式：PDF + Word/doc 文字可复制、可编辑

    • 针对智能高速机床对高频响、微振动检测的需要，提出并研制了一种基于双桥梁结构的高频响微加速度传感器。利用Ansys静态与模态仿真，分析了双桥梁结构的应力状态和固有频率，一阶固有频率为11.8 kHz，达到了预定的设计要求。结合MEMS湿法刻蚀工艺与硅玻璃键和技术得到传感器样品。静态实验结果表明，双桥梁结构加速度传感器在3V的稳压电源下主轴灵敏度达到了0.264 mV/g，非线性度为0.67%，迟滞为2.69%。动态标定系统测试表明，传感器动态响应频率达到12.46 kHz，满足智能机床主轴在转速达到60 kr/min时的高频响测量要求。

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